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講演会名

IMPACT2022

会場

南港展覧館(台湾) No. 1, Jingmao 2nd Rd, Nangang District, Taipei City, 115

主催

IEEE

講演題目

Via filling with high uniformity and flash etching with low surface roughness process for fine line formation
高面内均一性ビアフィルと低粗度フラッシュエッチングを用いた微細配線形成

講演者

総合研究所 電子技術開発部 小林玲斗

講演日時

10月27日 13:10-13:40

セッション名

S13 : ICEP 

講演方法

現地会場での講演

本件の問い合わせ先

株式会社 JCU 経営戦略室 経営企画部
TEL:03-6895-7004  E-mail:kikaku@jcu-i.com