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APCS展示会のお知らせ

JCUについて

このたび弊社は、2025年12月17日から19日にかけてSEMICON Japan2025/APCSに出展することとなりました。今回は当社が展示を予定している、SAP用回路形成エッチングプロセスの新製品「NEZARK® SAC9」についてご紹介させていただきます。
こちらは、SAP(Semi-Additive Process:セミアディティブプロセス)※1向けの表面処理薬品であり、近年AIやBeyond 5Gなどの技術革新に伴い、より微細化や高機能化の進む半導体パッケージ基板の製造に適したプロセスとなっています。

SAP用回路形成エッチングプロセス 「NEZARK® SAC9」

「NEZARK® SAC9」はSAP用回路形成エッチングプロセスです。エッチングとは、素材の表面を薬品やプラズマによって腐食させ、除去する加工方法です。今回ご紹介するエッチングプロセスは、銅めっきで配線を形成後、ドライフィルムレジスト※2を剥離した際に露出するシード層※3を除去することで、必要な場所にのみ配線を形成することが可能となります。微細な配線形成の技術が必要とされる半導体パッケージ製造において、エッチング薬品の性能の高さは特に重要なものとなります。

「NEZARK® SAC9」は、前回の展示会のお知らせ(「JPCA展示会のお知らせ」)の際にご紹介した、「NEZARK® SAC7」を微細配線向けにより改良を加えた新製品になります。本製品の特長として、①エッチングの際のアンダーカットの抑制②銅配線幅減少量の抑制③銅配線表面の平滑性維持④連続稼働時の性能安定性の4点が挙げられます。

エッチング処理は、銅シード層を除去する工程において、同じく銅で形成されている配線の腐食も進行します。この時、銅シード層における局所的な過剰腐食(=アンダーカット)の発生や、配線全体を過度に腐食することで配線の横幅を極端に減少してしまう回路細りという不良につながります。半導体パッケージ基板に必要とされる配線は非常に幅が狭く、アンダーカットや回路細りが生じると、配線剝離や電気的接続性の低下の原因となります。さらに、他の課題として、エッチングの反応速度にばらつきが起こることで、腐食の程度に差が生じ、配線表面に粗い凹凸ができてしまうことがあります。これは銅配線の表面の平滑性(なめらかさ)が低下するといわれ、配線表面の平滑性の低下は伝送損失※4にもつながります。


図1 SAPシード層エッチングにおける課題


これらの課題に対し、「NEZARK® SAC9」は、シード層をエッチングしながら配線部分を保護することで高いアンダーカット抑制効果を発揮します。また、銅の配線幅の減少量の低減や、配線表面の平滑性の維持を実現したプロセスとなっております。さらに、薬品の定量的な補給を行うことで、めっきの建浴液を連続稼働して使用した際も同様の性能を安定的に保持することも特長です。同様の特長をもつ当社の従来製品「NEZARK® SAC6」や「NEZARK® SAC7」に対し、「NEZARK® SAC9」はより微細配線向けに最適化されたプロセスとなっております。


図2:L/S=2/2μm箇所の銅配線断面および表面比較
※L/S=配線の幅/配線同士の間隔

※1 SAP…絶縁基板の上にごく薄い銅膜(シード層)を形成し、配線としない部分をドライフィルムレジストで覆ったうえで、露出した部分にのみ銅めっきで配線を形成する技術。その後、ドライフィルムレジストをはがして余分なシード層を取り除くことで、細かい配線を形成する。
※2 ドライフィルムレジスト…露光された部分が硬化する感光性のフィルムで、必要な箇所に銅配線を形成する際に使用される保護膜のこと
※3 シード層…絶縁体の樹脂上にめっき技術を用いて銅配線を形成する際に必要となる薄い金属層
※4  伝送損失…通信経路を流れる電気や光の信号が距離によって減衰すること

今回ご紹介した「NEZARK® SAC9」は、AIやBeyond 5Gの普及により、近年益々需要の高まる次世代半導体の実装技術の発展に貢献できるプロセスとなっています。
上記でご紹介した他にも、半導体パッケージ基板製造向け薬品を多数ご用意しておりますので、この機会にぜひご来場ください。

SEMICON Japan2025/APCS

会期

2025年12月17日(水)~12月19日(金) 

会場

東京ビッグサイト東 4,5,6ホール

ブース番号

E6435

<SEMICON Japan2025/APCS>公式サイト
https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register
※来場登録はこちらからよろしくお願いいたします。

本件の問い合わせ先

株式会社 JCU 経営戦略室 経営企画部
TEL:03-6895-7004  E-mail:kikaku@jcu-i.com